產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2025-07-17
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
訪 問 量 ：20
15214375780
產(chǎn)品分類
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001
型號(hào)：61344-PEGN-0001
類型：氣動(dòng)高真空蝶形調(diào)節(jié)閥（金屬密封，快響應(yīng)型）
品牌：VAT Group（瑞士真空閥門技術(shù)）
核心特點(diǎn)：超高真空兼容性、耐等離子體腐蝕、毫秒級(jí)響應(yīng)
適用領(lǐng)域：半導(dǎo)體刻蝕/ALD、光伏鍍膜、科研真空系統(tǒng)
| 參數(shù) | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
| 真空范圍 | 10?1? mbar ~ 大氣壓（XHV級(jí)） |
| 漏率 | <5×10?1? mbar·l/s（金屬密封版） |
| 閥體材質(zhì) | 316L不銹鋼（電解拋光，Ra≤0.5μm） |
| 蝶板材質(zhì) | 鈦合金鍍Al?O?（抗等離子體腐蝕） |
| 密封類型 | 全金屬密封（金包覆Inconel） |
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 雙作用氣動(dòng)（可選電動(dòng)執(zhí)行器） |
| 響應(yīng)時(shí)間 | <30 ms（全開至全關(guān)） |
| 溫度范圍 | -20°C ~ +250°C（烘烤兼容） |
| 法蘭標(biāo)準(zhǔn) | ISO-KF/DN40~160、CF 2.75"~8" |
| 控制信號(hào) | 4-20mA/PROFIBUS DP（可選） |
① 等離子體防護(hù)設(shè)計(jì)
Al?O?鍍層蝶板可耐受Cl?/HBr/SF?等離子體侵蝕
特殊流道設(shè)計(jì)減少顆粒生成（符合SEMI F47標(biāo)準(zhǔn)）
② 超快動(dòng)態(tài)響應(yīng)
優(yōu)化氣路設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)<30ms開關(guān)速度
適用于ALD設(shè)備的脈沖式氣體控制
③ 智能控制系統(tǒng)
集成高精度位置傳感器（分辨率0.1%）
可選數(shù)字通信接口（支持遠(yuǎn)程監(jiān)控）
| 設(shè)備類型 | 功能角色 | 特殊要求 |
|---|---|---|
| 原子層沉積(ALD) | 前驅(qū)體氣體脈沖控制 | 響應(yīng)時(shí)間<50ms |
| 等離子刻蝕(Etch) | 腐蝕性氣體隔離 | Al?O?鍍層+雙密封 |
| 離子注入機(jī) | 束線真空分段控制 | 無磁化設(shè)計(jì)（鈦合金材質(zhì)） |
| EUV光刻機(jī) | 真空維持與顆?？刂?/td> | 超潔凈版本（特殊表面處理） |
安裝規(guī)范：
使用激光對(duì)中儀確保閥體安裝偏差<0.05mm
氣路需配置0.1μm過濾器（VAT P/N: FLT-100M）
使用前進(jìn)行10次空載循環(huán)測(cè)試
維護(hù)計(jì)劃：
每季度：密封面清潔（使用VAT專用清潔劑）
每50萬次循環(huán)：更換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)潤(rùn)滑脂
每2年：氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試（建議原廠校準(zhǔn)）
| 特性 | 61344-PEGN-0001 | 61340-PACX-0001 | 61332-KEAF-0001 |
|---|---|---|---|
| 響應(yīng)速度 | <30 ms | <50 ms | <100 ms |
| 耐溫性 | +250°C | +200°C | +150°C |
| 密封類型 | 金屬+二次密封 | 金屬密封 | 金屬密封 |
| 典型應(yīng)用 | EUV/ALD | 刻蝕設(shè)備 | 通用真空系統(tǒng) |
SEMI F47（電壓暫降免疫）
CE/UL/ROHS認(rèn)證
ISO 14644-1 Class 4潔凈度
商品編號(hào)61346-PAAK-0001
商品編號(hào)61334-KAAH-0001
商品編號(hào)61340-PACQ-0001
商品編號(hào)61336-PEAH-0001
商品編號(hào)61340-PEAH-0001
商品編號(hào)61344-PEAQ-0001
商品編號(hào)61346-PEGF-0001
商品編號(hào)61328-KECQ-0001
商品編號(hào)61332-KEGE-0001
商品編號(hào)61348-PECF-0001
商品編號(hào)61332-KECF-0001
商品編號(hào)61350-PACE-0001
商品編號(hào)61346-PECH-0001
商品編號(hào)61346-PEM1-0001
商品編號(hào)61336-PEGQ-0001
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61344-PEGN-0001
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